百級凈化車間

百級半導體凈化車間

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上圖為我公司貴州某***凈化車間施工現場圖

圖中相應凈化工程為生產半導體產品,對生產環境中的空氣潔凈有較高的要求,特別是在晶圓清洗工序和光刻工序,需要在***別潔凈室環境中生產。該廠房共有潔凈室5000多平方米,其中ISO 5級(***)以上潔凈室2000余平方米,ISO 6級(B級)、ISO 7級(C級)潔凈室3000余平方米。為確保新項目中產品的正常生產并取得較高的良品率,在結合我所原有潔凈室的管理經驗基礎之上,制定了新的潔凈室管理辦法,并在實際應用中進行了多次修改和完善,取得了比較好的效果。

其中關于百級凈化車間內FFU的日常管理如下:

FFU運行的日常管理
    FFU是整個潔凈室中保證潔凈室潔凈度的關鍵部件,FFU的狀態是否良好決定著***潔凈室潔凈度是否達標的關鍵因素。為了保證潔凈室內的潔凈度符合生產的要求,我們著重從以下幾方面來監測FFU的運行狀態:
(1)定期地、分區域地測試FFU的風速,確認FFU的運行風速是否處于0.35m/s±20%的狀態。
(2)定期地、分區域地逐臺掃描FFU的**過濾器,確認**過濾器是否正常工作,避免**過濾器的泄漏導致潔凈室內的潔凈度超標。
(3)定期巡視FFU運行指示燈處于正常的工作狀態。
(4)預防性的抽查FFU**過濾器的阻力,在FFU**過濾器達到終阻力之前,分區域,提
前安排**過濾器的更換;
(5)抽查潔凈室內各區域的潔凈度,如果在某區域監測到粒子超標現象,我們立即啟動應急響應,對此區域的所有FFU**過濾器進行逐臺掃描,查找泄漏點,并總結引起泄漏的原因,采取相應的糾正預防措施。
總之,潔凈室的日常管理是一項非常**的綜合工程,所有牽涉潔凈室管理的工作都必須要有申請、審核和備案程序;所有進入潔凈室的人員應與操作人員相同,依照同樣的進出程序,并遵循潔凈室的相關管理制度;只有不斷提高員工的素質,增強員工的工作責任心自覺地維護潔凈室的制度,對潔凈室的日常管理可以起到事半功倍的效果。不僅可以大幅度地降低潔凈室的運行費用,同時獲得了較高的成品合格率。

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